文章来源:由「百度新聞」平台非商業用途取用"https://js.qq.com/a/20141121/010790.htm"
昨天,我國第一個國際最高等級“ISO1級”的無塵室集成系統在南京天加空調設備有限公司落成,并通過專家組評定。來自中國科學院、中國工程院、行業協會、高校,包括多名院士在內的近30名權威專家一致評定,該系統為國內首創,達國際先進水平。1963年美國制定出國際上第一套無塵室標準,此后不斷修改標準。1999年,ISO統一了各國的潔凈度標準,并頒發標準。“ISO1級”是該標準的最高要求,實現難度非常大。2012年,南京天加組建技術團隊,投入1000多萬元,經過近兩年技術攻關,建立了天加“超凈環境集成系統”。經權威機構檢測,該系統核心區空氣潔凈度管控達國際最高標準“ISO1級”。在天加公司,記者看到這個無塵室共有200多平方米,分成8個小房間,每個房間都有一些儀器設備。一名工程師告訴記者,無塵環境正是靠這些儀器設備達到的,每個房間都經過5級物理過濾,濾掉顆粒物污染,再經過兩道化學過濾,過濾掉分子污染。無塵室到底干凈到什麼程度?“這里面每立方米的空間只有0.1微米的顆粒0.5顆。”工程師介紹,在無塵室里,相當于頭發絲直徑千分之一的顆粒只有10粒。在評定會現場,中國電子學會潔凈技術分會、全國潔凈室及相關受控環境標準化技術委員會主任委員王堯表示,天加這套無塵室系統將科研、教學、工程技術驗證、環境危害直觀評估集成于一個技術平臺,實現國內首創,打破了一直以來該領域的國外技術屏障,填補國家相關領域的技術空白。王堯說,無塵室在電子信息產品制造過程中的作用非常大,尤其是對于超大規模集成電路、高世代平板顯示制造而言,無塵室的設計及建造的水平決定了產品質量,希望天加公司盡快將此技術推廣使用。正文已結束,您可以按alt+4進行評論
關鍵字標籤:www.hytech.com.tw/ |